投射电镜和扫描电镜

2026-07-26

来源/作者:普拉特泽生物-医学整体课题外包

透射电镜(TEM)和扫描电镜(SEM)是科研中最常用的两种电子显微镜,它们的核心区别在于电子束与样品的作用方式不同,从而导致观察目标、样品要求和成像效果有很大差异。

核心原理与成像方式

  • 扫描电镜(SEM):电子束在样品表面进行逐点逐行扫描,收集激发出的二次电子或背散射电子信号成像。它主打表面形貌可视化,类似于给样品拍“超清立体照片”。
  • 透射电镜(TEM):高能电子束穿透超薄样品,依据电子散射差异形成衬度成像。它主打内部结构解析,类似于给样品做“X光透视”,能看到内部晶体和原子排列。

样品制备要求

  • SEM(制样友好):对样品厚度没有严格要求,块状、粉末、薄膜均可。非导电样品只需喷金或喷碳处理即可,制样快速简单。
  • TEM(制样严苛):样品必须极薄(通常 <100 nm),让电子能够穿透。需要经过超薄切片、离子减薄或聚焦离子束(FIB)切割等复杂流程,制样周期长且技术门槛高。

分辨率与成像效果

  • SEM:常规分辨率在 1-10 nm 左右,放大倍数可达几十万倍。成像景深大,具有极强的3D立体感,能直观反映表面的粗糙度、断口和颗粒分布。
  • TEM:分辨率可达 0.1 nm 甚至亚埃级,放大倍数超百万倍。成像是2D平面投影,但能直接观察到晶格条纹、晶体缺陷、原子列等原子级精细结构。

典型应用场景

  • 选 SEM:观察材料表面形貌、断口分析、颗粒尺寸与分布、涂层粗糙度、生物样品(如花粉、昆虫)表面结构,以及搭配 EDS 做微区元素分布分析。
  • 选 TEM:分析晶体缺陷、纳米颗粒内部结构、晶格条纹与物相鉴定、界面结构,以及生物大分子(结合 冷冻电镜 Cryo-EM)的三维结构解析。

一句话总结选型指南

看表面选 SEM,看内部原子选 TEM,根据具体的表征需求选择工具,避免制样浪费和测试踩坑。