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扫描电镜和透射电镜样品的要求有什么区别?

2024-07-01 17:04:01

来源/作者:普拉特泽-生物医学整体课题外包平台

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扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)是两种不可或缺的工具。尽管它们都使用电子束来产生样品的图像,但由于成像原理和技术特性的不同,两者对样品的要求存在显著的差异

首先,从成像原理的角度来看,扫描电镜和透射电镜有着本质的区别。扫描电镜主要利用电子束在样品表面扫描时激发出的二次电子和背散射电子等信号进行成像,因此它能够提供样品表面的高分辨率形貌图像和化学组成信息。而透射电镜则是基于电子束穿过超薄样品时的散射和衍射原理进行成像,能够观察到样品内部的微观形貌和晶体结构。

▲(1)扫描电镜

SEM制样对样品的厚度没有特殊要求,可以采用切、磨、抛光或解理等方法将特定剖面呈现出来,从而转化为可以观察的表面。这样的表面如果直接观察,看到的只有表面加工损伤,一般要利用不同的化学溶液进行择优腐蚀,才能产生有利于观察的衬度。不过腐蚀会使样品失去原结构的部分真实情况,同时引入部分人为的干扰,对样品中厚度极小的薄层来说,造成的误差更大


▲(2)透射电镜

由于TEM得到的显微图像的质量强烈依赖于样品的厚度,因此样品观测部位要非常的薄,例如存储器器件的TEM样品一般只能有10~100nm的厚度,这给TEM制样带来很大的难度。初学者在制样过程中用手工或者机械控制磨制的成品率不高,一旦过度削磨则使该样品报废。TEM制样的另一个问题是观测点的定位,一般的制样只能获得10mm量级的薄的观测范围,这在需要精确定位分析的时候,目标往往落在观测范围之外。目前比较理想的解决方法是通过聚焦离子束刻蚀(FIB)来进行精细加工。

除了上述对样品的要求外,扫描电镜和透射电镜在功能应用上也存在差异。扫描电镜主要用于观察样品表面的微观形貌和化学组成信息,广泛应用于材料表征、失效分析、半导体器件检测等领域。而透射电镜则不仅可以观察样品的内部形貌,还可以分析样品的晶体结构、缺陷、化学组成和价态等,对于纳米材料、矿物岩石、生物医学等领域的研究具有重要意义。

所以  扫描电镜和透射电镜在成像原理、样品要求以及功能应用等方面存在显著的差异。了解这些差异有助于我们更好地选择和使用这两种电子显微镜工具,以满足不同科学研究和材料分析的需求。

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